글로벌 시장조사업체 ‘모더 인텔리전스(Mordor Intelligence)’는 반도체 증착 공정 방식 중 하나인 원자층증착(ALD) 시장이 2019년부터 2026년까지 연평균성장률 24%를 기록할 것으로 전망하고 있다. 국내 ALD 기업으로는 작년 11월11일 기술특례로 상장한 지오엘리먼트(311320)가 꾸준한 매출과 영업이익을 보이며 126%에 이르는 공모 투자 수익률을 기록하고 있다. 지오엘리먼트의 최근 종가는 2만 2,600원으로 공모가 1만 원의 2배가 넘는다. 상장 후 최고가는 작년 12월 장중 5만 3,900원을 기록했고 최저가는 올해 7월 1만 5,350원까지 밀렸었다.

# 꾸준한 성장과 30%대 육박하는 영업이익 = 지오엘리먼트의 올해 3분기 누적 매출은 218억 원으로 이미 작년 연간 매출 217억 원을 넘어섰다. 이 회사의 지난해 영업이익은 61억 원으로 영업이익률은 28%에 이른다.

올해 연간 실적 전망은 매출 273억 원에 영업이익 76억 원(영업이익률 27.8%)이 기대된다. 한국IR협의회의 기업리서치센터 강경민 연구원은 올해 지오엘리먼트의 매출이 전년 대비 10% 늘어난 240억 원에 영업이익은 12.5% 증가된 69억 원을 전망하고 있다. 

# 반도체 부품, 소재 선도기업 = 반도체는 다양한 물질을 이용해 초미세 박막을 형성하는 증착 과정이 필수적이다. 증착 방식은 크게 물리적 증기 증착(PVD)과 화학적 증기 증착(CVD)으로 나뉘며 최근 원자층 증착이 주목받고 있다.

지오엘리먼트는 차세대 증착 공정으로 알려진 원자층 증착(ALD. Atomic layer deposition)용 캐니스터와 초음파 센서를 국산화했다. 캐니스터는 원차층 증착(ALD) 공정에 필요한 전구체를 이송, 보관하는 부품이며 초음파 센서는 전구체의 양을 측정하는 센서다. 전구체(Precursor)는 반도체 미세 패턴 박막 형성에 사용되는 필수적인 화학소재로 반도체의 절연막과 금속 배선 형성 과정에 쓰인다.

지오엘리먼트가 개발에 성공한 초음파 연속식 센서는 세계 첫 사례로 알려져 있다. 해당 기술은 ALD 양산 공정에 적용되는 센서로 공정 안정화에 필요한 모니터링을 수행한다. 초음파 센서로 사고 예방과 양산 공정 중 이상 동작 감지 등이 가능해졌으며 국내 ALD 장비 표준화를 통해 15년 이상 양산 공정에서 오작동 사례가 급감했다고 지오엘리먼트측은 설명했다. 

이 회사는 물리적 증착 방식중 하나인 스퍼터링(Sputtering)용 타깃 국산화에도 성공했다. 스퍼터링 타깃은 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리 기판에 미세막을 형성할 때 사용되는 부품이다.

지오엘리먼트는 2021년부터 알루미늄, 티타늄, 구리계 300mm 반도체용 제품을 공급하고 있다. 이전까지는 100% 일본 수입에 의존했던 부품이다. 스퍼터링 타겟의 제조를 위한 소재의 제어와 접합, 정밀가공 등의 핵심 기술을 확보하고 있다. 물리적 증착(PVD) 시장의 국산화율은 2%에 불과한 실정으로 시장 수요가 높은 분야라고 회사 측은 설명했다.

# 삼성전자 반도체 연구원 출신 CEO = 신현국 지오엘리먼트 대표이사는 전남 여수고를 거쳐 중앙대학교 화학과를 졸업했다. 미국 미시간 웨인 주립대에서 생화학 석사, 뉴멕시코 대학에서 재료화학 박사학위를 취득하고 미국 휴스턴대학교 연구교원으로 근무하다 1993년 삼성전자에 입사했다. 삼성 반도체연구원을 거친 신 대표는 1994년 반도체 전구체 기업 유피케미칼을 설립해 2013년 634억원에 중국 기업에 매각했다. 이후 매각대금을 기반으로 신 대표는 2005년 지오엘리먼트를 설립했다. 

지오엘리먼트의 영문 회사명 GO Element(Global Organization Element)는 '인류의 끊임없는 진보를 위해 인류의 생존공간 지구를 구성하는 하나의 요소 또는 원소가 되겠다'는 뜻이다.